发明名称 | 喷墨式打印头喷孔的自动对准制法 | ||
摘要 | 一种喷墨式打印头喷孔的自动对准制法,包括下列步骤:提供一基板,所述基板包含有至少一致动组件;在所述基板表面上依序形成一第一薄膜及一第二薄膜,并定义此第二薄膜,以在上述致动组件的上方形成一凸部,且露出上述第一薄膜的部分表面;在上述露出的第一薄膜的部分表面上形成一第三薄膜,此第三薄膜并同时覆盖于该凸部的上方;去除该凸部上方的第三薄膜;最后进行蚀刻制程,将上述凸部及其下方的第一薄膜去除,以形成一孔洞。 | ||
申请公布号 | CN1261303C | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
申请号 | CN02152284.7 | 申请日期 | 2002.11.18 |
申请人 | 飞赫科技股份有限公司 | 发明人 | 黃怡仁;林劉恭 |
分类号 | B41J2/16(2006.01) | 主分类号 | B41J2/16(2006.01) |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 | 代理人 | 徐申民 |
主权项 | 1.一种喷墨式打印头喷孔的自动对准制法,包括下列步骤:提供一基板,其包含有至少一致动组件;于所述基板表面上形成一第一薄膜;于所述第一薄膜上形成一第二薄膜;所述第二薄膜,于所述致动组件的上方形成一凸部,并露出所述第一薄膜的部分表面;于上述露出的第一薄膜的部分表面上形成一第三薄膜,所述第三薄膜并同时覆盖在所述凸部的上方;去除所述凸部上方的第三薄膜;以及进行蚀刻制程,将所述凸部及所述凸部下方的所述第一薄膜去除,以形成一孔洞。 | ||
地址 | 台湾省新竹市水利路81号9楼之5 |