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发明名称 Method for the production of multi-layer systems
摘要
申请公布号 EP1148149(B1) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 EP20010109003 申请日期 2001.04.11
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 YAKSHIN, ANDREY E., DR.;LOUIS, ERIC, DRS.;BIJKERK, FREDERIK, DR.
分类号 G01B11/06;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/58;G02B1/10;G02B5/26;G02B5/28;G21K1/06;H01J1/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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