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发明名称 GAN SUBSTRATE AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060072693(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040111404 申请日期 2004.12.23
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, DOO SOO;KIM, KUN;SEO, WOO HYUN
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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