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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE PLASMA
摘要
申请公布号 KR20060072499(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040111158 申请日期 2004.12.23
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JANG, JEONG YEOL
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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