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发明名称
PLASMA SOURCE OF DIRECTED BEAMS AND APPLICATION THEREOF TO MICROLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
EP1673785(A2)
申请公布日期
2006.06.28
申请号
EP20040817228
申请日期
2004.10.18
申请人
EPPRA
发明人
CHOI, PETER
分类号
G03F7/20;G21K1/06;H05G2/00;(IPC1-7):G21K1/06
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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