| 发明名称 | 光刻用的标线片转移系统和方法，基片转移盒及转移方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基片保护和转移系统，以及在光刻工具内转移一个基片由大气压至真空的方法。此系统包括一个或多个基片转移盒(111)。每个盒具有至少一个通气孔和至少一个过滤器。此系统还包括一个端部操作装置(113)，与一个机器人臂(115)匹配，以便能使基片(109)定位在一个盒(111)内，从而形成一个盒-基片装置。此系统还包括一个具有一个底板(711)和一个盖子(713)的箱子(701)。箱子(701)保持一个或多个盒-基片装置。用这种方式提供了一个箱子(盒)基片装置。为了转移基片，基片(109)首先装载进入一个可移动的基片转移盒(111)。随后，盒-基片装置装载进入箱子(701)。此箱子(盒)基片装置随后转移到真空外存储架的一个搁板上。 | ||
| 申请公布号 | CN1261334C | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN02802985.2 | 申请日期 | 2002.08.12 |
| 申请人 | ASML美国公司 | 发明人 | 圣地亚哥·E·德尔普埃尔托;迈克尔·A·德马尔科;格伦·M·弗雷德曼;豪尔赫·S·艾瓦尔蒂;詹姆斯·A·麦克莱 |
| 分类号 | B65G49/07(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | B65G49/07(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 郑修哲 |
| 主权项 | 1.一种具有机器人臂的光刻工具用的标线片转移系统，它包括：(a)一个转位器，它存储一组标线片和一个可移动的标线片盒；(b)一个端部操作装置，与机器人臂连接，该端部操作装置接合上述的一组标线片之一以允许上述的一组标线片之一定位于上述的可移动的标线片盒之内和随后转移；以及(c)一个密封件，此密封件密封上述的可移动的标线片盒内的上述的一组标线片之一。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格 | ||