| 发明名称 | 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明的脆性材料基板端面部的检查装置具有，在向预定方向移动的工作台上在水平状态下被载置的脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)上照射光的光源(16a、17a、16b、17b)，以及，接收从脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)反射的反射光的光量检测机构(14a、15a、14b、15b)，当接收的反射光的光量超过预定的上限值、或者低于预定的下限值时，判断为脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)存在缺口。 | ||
| 申请公布号 | CN1261751C | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN02813245.9 | 申请日期 | 2002.11.18 |
| 申请人 | 三星宝石工业株式会社 | 发明人 | 田秀明;吉村浩昭 |
| 分类号 | G01N21/958(2006.01);G01M11/00(2006.01);G01B11/30(2006.01);G02F1/1333(2006.01) | 主分类号 | G01N21/958(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于具备：以水平状态载置脆性材料基板的工作台；使该工作台朝预定方向移动的工作台移动机构；使该工作台沿着水平方向旋转的工作台水平旋转机构；向该脆性材料基板的端面部上照射光的光源；接收被该光源照射从而由该脆性材料基板的端面部反射的反射光的至少一个摄像机构；基于由该摄像机构接收的来自该端面部的反射光的光量来判定该端面部的优劣的判定机构，通过该摄像机构，将该脆性材料基板的形成角的两边摄像从而使该脆性材料基板的角被识别，根据识别出的角的位置通过该工作台水平旋转机构使该脆性材料基板的端面部和该工作台的移动方向相一致。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||