发明名称 Coaxial narrow angle dark field lighting
摘要
申请公布号 GB2413859(B) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 GB20050016651 申请日期 2004.01.27
申请人 ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 发明人 LEO BALDWIN
分类号 G06K9/00;G01N21/88;G02B13/22;G02B21/10;G03B15/02 主分类号 G06K9/00
代理机构 代理人
主权项
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