大动态微机械可变光衰减器的制造方法

摘要

本发明公开了一种大动态微机械可变光衰减器的制造方法，它涉及光电子领域中的可变光衰减器器件的制造。本发明在硅基片上采用体硅微机械加工技术制造大动态微机械可变光衰减器的驱动器、可动硅挡板、光纤光路定位结构等部件。它利用在外加驱动力作用下，使可动硅挡板在输入光纤和输出光纤端面间的间隙中移动，达到可动硅挡板部分阻断光纤传输光信号的通过，从而起到对传输光的能量衰减控制作用。本发明制造的可变光衰减器器件具有大动态衰减范围、低插入损耗、功耗低、体积小、成本低、易集成和批量化等特点，可以制成系列的可变光衰减器，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作可变光衰减器器件装置。

主权项

1、一种大动态微机械可变光衰减器的制造方法，其特征在于该方法中采用体硅微机械加工技术在硅基片上制作可动硅挡板实现光纤中光传输能量衰减控制的微机械可变光衰减器。