位移检测器

摘要

位移检测器包括：光源(140)；分束器(170)，其用于将从光源(140)发送的光分成两束光束；反射镜(181、182)，提供给从分束器(170)发送的两束光束，用于反射这两束光束并使它们入射到标尺(110)上；和角隅棱镜(191、192)，提供给在入射到标尺(110)的两束光束被衍射光栅(111)衍射时产生的衍射光束，其中角隅棱镜(191、192)回射所述衍射光并使所述光作为回射光入射到标尺上。在入射光和标尺的法线矢量之间形成的到光栅凹槽的入射角大于在回射光和标尺的法线矢量之间形成的衍射角。

主权项

1.一种位移检测器，包括：具有衍射光栅的标尺；和检测头，其布置成能够相对所述标尺相对地移动，发射干涉光到所述标尺和接收从所述标尺发送的衍射光，所述检测头包括：发射所述干涉光的光源；分光部件，其用于将从所述光源发送的光分成两束光束；光学元件，其被布置成用于从所述分光部件发送的两束光束的每一束，用于反射从所述分光部件发送的光束并使该光束作为入射光入射到所述标尺上；和回射器，其被布置成用于在入射到所述标尺的两束光束被所述衍射光栅衍射时产生的每束衍射光束，用于回射所述衍射光并使该光作为回射光入射到所述标尺上，其中，所述入射光和所述回射光沿垂直于所述衍射光栅凹槽的方向入射，在所述入射光和所述标尺的法线矢量之间形成的夹角大于在所述回射光和所述标尺的法线矢量之间形成的夹角。