| 发明名称 | 使用一维纳米材料的微型气体传感器 | ||
| 摘要 | 一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括：衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中，金属底电极层设置在衬底上，一维纳米材料层设置在金属底电极层之上，金属支柱层设置在衬底之上，顶电极设置在衬底上。金属底电极层、一维纳米材料层与金属支柱层之间相互隔离，顶电极层和底电极层、一维纳米材料层之间有气体间隙相互隔离。本发明具有选择性高、灵敏度高、低能耗、成本低、易于实现阵列化、小型化的优点，并有利于提高安全性、稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN1793893A | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN200510112216.8 | 申请日期 | 2005.12.29 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 侯中宇;蔡炳初;张亚非;徐东;魏星 |
| 分类号 | G01N27/62(2006.01);H01L49/00(2006.01) | 主分类号 | G01N27/62(2006.01) |
| 代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王锡麟;王桂忠 |
| 主权项 | 1、一种使用一维纳米材料的微型气体传感器，包括：衬底(1)、金属底电极层(2)、一维纳米材料层(3)、金属支柱层(4)、金属顶电极层(5)，其特征在于，金属底电极层(2)设置在衬底(1)上，一维纳米材料层(3)设置在金属底电极(2)之上，金属支柱层(4)设置在衬底(1)之上，顶电极(5)设置在衬底(1)之上，金属底电极层(2)以及一维纳米材料层(3)与金属支柱层(4)之间相互隔离，顶电极层(5)和底电极层(2)以及一维纳米材料层(3)之间有气体间隙相互隔离。 | ||
| 地址 | 200240上海市闵行区东川路800号 | ||