发明名称 |
一种半导体测试用的检测卡 |
摘要 |
本发明揭示一种半导体测试用的检测卡,其包含一电路板、设置于该电路板表面的一支撑物、至少一探针,其以一粘着物固定在该支撑物上、设置在该电路板上的至少一流动线路、及固设于该电路板上的一盖子。本发明通过将一流体,如加压的空气或氮气,导入流动线路中,形成流动回路将热量带入或带出检测卡以达成调节温度功能。 |
申请公布号 |
CN1261993C |
申请公布日期 |
2006.06.28 |
申请号 |
CN03109153.9 |
申请日期 |
2003.04.03 |
申请人 |
思达科技股份有限公司 |
发明人 |
刘俊良;徐梅淑 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
戈泊;程伟 |
主权项 |
1.一种半导体测试用的检测卡,其特征在于:包含:一电路板;一支撑物,设置于所述电路板表面;至少一探针,固定于所述支撑物上;及至少一气体流动线路,设置在所述电路板上,其中气体可经由该气体流动线路吹向该侦测卡,以保持该侦测卡的温度处于其材料本身所能承受的范围内。 |
地址 |
台湾省新竹县 |