发明名称 | MEMS高温压力传感器自动键合机 | ||
摘要 | 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机,它包括台面,在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜,操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上,加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上,显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量,实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业;融合视觉/微力觉信息,实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运;设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力,提高了生产效率。 | ||
申请公布号 | CN1792937A | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
申请号 | CN200510010592.6 | 申请日期 | 2005.11.30 |
申请人 | 哈尔滨工业大学 | 发明人 | 荣伟彬;谢晖;孙立宁;陈立国 |
分类号 | C03C27/00(2006.01) | 主分类号 | C03C27/00(2006.01) |
代理机构 | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 祖玉清 |
主权项 | 1、一种MEMS高温压力传感器自动键合机,它包括台面,在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜,其特征是:操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上,加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上,显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。 | ||
地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |