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发明名称 METHOD FOR RECOVERING OF DISHING EFFECT
摘要
申请公布号 KR20060073287(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040112430 申请日期 2004.12.24
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, DAE YOUNG
分类号 H01L21/28;H01L21/304 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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