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发明名称 LOAD-LOCK CHAMBER AND APPARATUS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE EMPLOYING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060072571(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040111245 申请日期 2004.12.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, JIN SU
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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