| 发明名称 | 制造致动器器件的方法和液体喷射设备 | ||
| 摘要 | 一种制造致动器器件的方法，包括如下步骤：在衬底的一个表面上形成振动板；和在所述振动板上形成压电元件，所述压电元件中的每一个包括下电极、压电层和上电极，并且其中，所述形成振动板的步骤包含绝缘膜形成步骤，所述绝缘膜形成步骤至少包括：膜形成步骤，用于在所述衬底的所述一个表面上形成锆层；以及热氧化步骤，用于在预定的热氧化温度下热氧化所述锆层，以形成包括氧化锆层的绝缘膜并且同时调整所述绝缘膜的应力。 | ||
| 申请公布号 | CN1792635A | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN200510131870.3 | 申请日期 | 2005.12.15 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 伊藤牧 |
| 分类号 | B41J2/16(2006.01);B41J2/14(2006.01) | 主分类号 | B41J2/16(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种制造致动器器件的方法，包括如下步骤：在衬底的一个表面上形成振动板；和在所述振动板上形成压电元件，所述压电元件中的每一个包括下电极、压电层和上电极，并且其中，所述形成振动板的步骤包含绝缘膜形成步骤，所述绝缘膜形成步骤至少包括：膜形成步骤，用于在所述衬底的所述一个表面上形成锆层；以及热氧化步骤，用于在预定的热氧化温度下热氧化所述锆层，以形成包括氧化锆层的绝缘膜并且同时调整所述绝缘膜的应力。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||