| 发明名称 | 荫罩保持装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种以矩形框架的形式可移动地固定荫罩(1)的装置，在所述矩形框架的边(2，3)上设置夹紧装置以夹紧所述荫罩(1)的所述边(1′)。依照本发明，所述夹紧装置包括多个单个弹簧元件(4)，其夹紧所述荫罩边(1′)上的紧密邻近的点。所述单个弹簧元件(4)分配到所述框架的一个边(2，3)上且具体化为板簧(4)，所述板簧以梳型方式相互连接，所述单个弹簧元件能通过共有的辅助夹紧构件(5)从将所述荫罩(1)能安装在所述框架上的安装位置移动到夹紧位置。 | ||
| 申请公布号 | CN1795283A | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN200480014707.2 | 申请日期 | 2004.03.29 |
| 申请人 | 艾克斯特朗股份公司 | 发明人 | 沃尔特·弗兰肯;格哈德·K·斯特劳赫 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01);G03F1/14(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | C23C14/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 王景刚;王冉 |
| 主权项 | 1.一种将荫罩(1)以矩形框架的形式可释放地保持的装置，即张紧装置，其在所设置的所述荫罩的边缘(1′)处作用于框架的边(2，3)，其特征在于，所述张紧装置具有多个单个弹簧元件(4)，其在紧密邻接的位置结合在所述荫罩边缘上(1′)。 | ||
| 地址 | 德国亚琛 | ||