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发明名称 METHOD FOR RECYCLING SPENT TMAH DEVELOPING SOULUTION CONTAINING PHOTORESIST
摘要
申请公布号 KR20060072560(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040111234 申请日期 2004.12.23
申请人 RESEARCH INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE & TECHNOLOGY;DAEIL DEVELOPMENT CO., LTD. 发明人 PARK, SUNG KOOK;LEE, SANG GIL;KIM, JU YUP;KIM, HO SUK
分类号 G03F7/32 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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