| 发明名称 |
Methods of depositing piezoelectric films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2400490(B) |
申请公布日期 |
2006.06.28 |
| 申请号 |
GB20040007506 |
申请日期 |
2004.04.02 |
| 申请人 |
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
PAUL RICH;MARK ASHLEY FORD |
| 分类号 |
H01L41/09;H03H3/04;H01L41/187;H03H3/007;H03H9/02;H03H9/17 |
主分类号 |
H01L41/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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