发明名称 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵
摘要 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵,压电陶瓷片的压电陶瓷晶体膜片经绝缘层与金属基片粘接成一体,绝缘层使压电陶瓷晶体膜片与金属基片之间形成安全的爬电距离,金属基片另一面有耐压保护层,在压电陶瓷膜片的表面设有保护层。微型气泵的上盖和下盖分别与泵体上端和下端密封固定连接,泵体上设有圆形泵腔,泵芯为压电陶瓷晶体膜片,压电陶瓷晶体膜片的金属基片经密封圈夹持,弹性固定在泵腔内,金属基片将泵体的下端封闭成工作泵腔,工作泵腔经单向阀与吸,排气管连通。本发明具有能量利用效率高,结构简单,噪音小等优点。
申请公布号 CN1793647A 申请公布日期 2006.06.28
申请号 CN200510012575.6 申请日期 2005.06.04
申请人 胡军 发明人 胡军
分类号 F04B45/047(2006.01);H01L41/04(2006.01) 主分类号 F04B45/047(2006.01)
代理机构 深圳市智科友专利商标事务所 代理人 曲家彬
主权项 1一种用于制造微型泵的压电陶瓷片,包括压电陶瓷晶体膜片(101)和金属基片(103)组成,其特征在于:所述压电陶瓷晶体膜片(101)经绝缘层(102)与金属基片(103)粘接成一体,绝缘层(102)使压电陶瓷晶体膜片(101)与金属基片(103)之间形成1~2mm的爬电距离,金属基片(103)的另一面设有耐压保护层(104),在压电陶瓷膜片(101)的表面设有抗氧化和变形保护层(105)。
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