角速度测量传感器

摘要

一种用于测量角速度的传感器，其通过以所述角速度旋转的单个压电音叉(21)形成。音叉包括从底座(22)延伸的两个振动腿(23，24)，用于激励音叉第一振动并被设置在激励腿(23)上的装置(25a、25b、26a、26b)，以及用于检测响应第一振动和音叉旋转而产生的音叉第二振动、并被设置在检测腿(24)上的装置(27a、27b、28a、28b)。检测腿具有包括两个上侧面(33，34)和两个下侧面(37，38)的形截面，其被相对于所述面伸出的突出部分(41，42)分开。检测装置包括相对于彼此设置的第一检测电极(27a)和第二检测电极(28a)，每个被设置在上侧面(33，34)之一上，使得在第一和第二检测电极之间的电场基本直线地通过检测腿，还包括相对于彼此设置的第三检测电极(27b)和第四检测电极(28b)，每个被设置在下侧面(37，38)之一上，使得在第三和第四检测电极之间的电场基本直线地通过检测腿。

主权项

1.一种用于测量角速度的传感器，其通过以下形成：单个压电音叉(21)，其以所述角速度旋转，所述音叉包括从底座(22)延伸的第一振动腿(23)和第二振动腿(24)，用于激励所述音叉的第一振动的装置(25a、25b、26a、26b)，其被设置在所述两个腿中被称为激励腿(23)的一个腿上，用于检测所述音叉的第二振动的装置(27a、27b、28a、28b)，所述第二振动响应所述第一振动和所述音叉的旋转而产生，所述检测装置被设置在所述两个腿中被称为检测腿(24)的另一个腿上，其特征在于，所述检测腿(24)具有包括两个上侧面(33，34)和两个下侧面(37，38)的十字形截面，所述上侧面和下侧面被相对于所述上侧面和下侧面伸出的突出部分(41，42)分开，以及所述检测装置包括被相对于彼此设置的第一检测电极(27a)和第二检测电极(28a)，其中每个被设置在所述上侧面(33，34)中的一个上，使得在所述第一和第二检测电极之间的电场基本直线地通过所述检测腿；还包括被相对于彼此设置的第三检测电极(27b)和第四检测电极(28b)，其中每个被设置在所述下侧面(37，38)中的一个上，使得在所述第三和第四检测电极之间的电场基本直线地通过所述检测腿。