| 发明名称 | 用于制造液晶显示器的设备 | ||
| 摘要 | 用于制造液晶显示器的设备。公开了一种用于制造液晶显示器的设备的曝光结构，以在调整曝光处理中将基板调整到适当温度、减少周期时间并使占用面积最小，其包括：中转输送机，用于运送基板；第一机械手，被布置在所述中转输送机的基板装载侧，用于接收涂覆有光刻胶的基板并将该基板运送到所述中转输送机；软烤热板(SHP)，被布置在所述中转输送机的基板卸载侧，用于从所述基板去除溶剂；冷却板，用于降低去除了溶剂的基板的温度；缓冲器，用于临时存储经温度降低的基板；第二机械手，被布置在所述中转输送机、所述SHP、所述冷却板与所述缓冲器的基板装载侧之间，用于装载和/或卸载所述基板；温度控制单元，用于调整从所述缓冲器卸载的所述基板的温度；曝光单元；以及第三机械手，被布置在所述缓冲器的基板卸载侧、所述温度控制单元与所述曝光单元之间，用于装载和/或卸载所述基板。 | ||
| 申请公布号 | CN1794094A | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN200510132182.9 | 申请日期 | 2005.12.22 |
| 申请人 | LG.菲利浦LCD株式会社 | 发明人 | 金龙勋;郭相旻;徐真愚 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01);G02F1/133(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄纶伟 |
| 主权项 | 1、一种制造液晶显示器的设备，其包括：中转输送机，用于运送基板；第一机械手，被布置在所述中转输送机的基板装载侧，用于接收涂覆有光刻胶的基板并将该基板运送到所述中转输送机；软烤热板，被布置在所述中转输送机的卸载侧，用于从所述基板去除溶剂；冷却板，用于降低去除了溶剂的基板的温度；缓冲器，用于临时存储经温度降低的基板；第二机械手，被布置在所述中转输送机、所述软烤热板、所述冷却板与所述缓冲器的基板装载侧之间，用于装载和/或卸载所述基板；温度控制单元，用于调整从所述缓冲器卸载的所述基板的温度；曝光单元；以及第三机械手，被布置在所述缓冲器的基板卸载侧、所述温度控制单元与所述曝光单元之间，用于装载和/或卸载所述基板。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||