PLASMA EXCITATION SYSTEM,申请号KR20050128860-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA EXCITATION SYSTEM
摘要
申请公布号	KR20060073518(A)	申请公布日期	2006.06.28
申请号	KR20050128860	申请日期	2005.12.23
申请人	HUTTINGER ELEKTRONIK GMBH + CO. KG	发明人	TRUSCH ALFRED;BANNWARTH MARKUS;WOLF LOTHAR;STEUBER MARTIN;AXENBECK SVEN;WIEDEMUTH PETER
分类号	H01J37/32;H05H1/24	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
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