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发明名称 PROCESS FOR THE PREPARATION OF A PHOTORESIST SOLUTION
摘要
申请公布号 KR20060073482(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20050127858 申请日期 2005.12.22
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS (GERMANY) GMBH 发明人 WOLFGANG ZAHN;RALF GROTTENMULLER;CARINA BRAUCH FISCHER;ANDREAS DRESEL;STEFAN ENGLERT;DANIELA BLAHA
分类号 G03F7/016;G03F7/004 主分类号 G03F7/016
代理机构 代理人
主权项
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