A CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION,申请号KR20050126196-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	A CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号	KR20060071882(A)	申请公布日期	2006.06.27
申请号	KR20050126196	申请日期	2005.12.20
申请人	SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD.	发明人	TAKEMOTO ICHIKI;YAMAGUCHI SATOSHI;SAKAMOTO HIROMU
分类号	G03F7/004;G03F7/039	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
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