发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060071957(A) 申请公布日期 2006.06.27
申请号 KR20040110461 申请日期 2004.12.22
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, HYUN CHUL;KIM, IN KYUM;JOO, HYUN SEOK;YANG, SU MI
分类号 H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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