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发明名称 VACUUM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060071889(A) 申请公布日期 2006.06.27
申请号 KR20050126648 申请日期 2005.12.21
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SHINDO TAKEHIRO
分类号 H01L21/68;H01L21/02;H01L21/203 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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