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发明名称 THIN FILM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060070866(A) 申请公布日期 2006.06.26
申请号 KR20040109679 申请日期 2004.12.21
申请人 MIRAE CORPORATION 发明人 YUN, JAE DOO;KIM, DO HYUN;KIM, YONG SUN
分类号 B05C13/00;B05C13/02 主分类号 B05C13/00
代理机构 代理人
主权项
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