METHOD OF PRODUCING A DOPANT GAS SPECIES,申请号KR20050125466-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF PRODUCING A DOPANT GAS SPECIES
摘要
申请公布号	KR20060070456(A)	申请公布日期	2006.06.23
申请号	KR20050125466	申请日期	2005.12.19
申请人	APPLIED MATERIALS INC.	发明人	RYDING GEOFFREY;SATOH SHU
分类号	B01J19/08;B01J8/18;B01J12/00	主分类号	B01J19/08
代理机构		代理人
主权项
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