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经营范围
发明名称
ELECTRONIC CABINET OF EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060069998(A)
申请公布日期
2006.06.23
申请号
KR20040108612
申请日期
2004.12.20
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, EUN SU
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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