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发明名称
Verfahren zur Steuerung der Eigenschaften und Merkmale einer Gateisolationsschicht auf der Grundlage elektrischer Testdaten, und System zum Ausführen der Verfahren
摘要
申请公布号
DE112004001250(T5)
申请公布日期
2006.06.22
申请号
DE200411001250
申请日期
2004.06.02
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
发明人
SONDERMAN, THOMAS J.;LALL, PIRAINDER
分类号
H01L21/8247;H01L21/66
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
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