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发明名称 PROCESS FOR TREATING SOLVENTS
摘要 The present invention provides for a process of treating organic solvents that are useful in the semiconductor industry by contacting the organic solvent with an anion exchange resin to remove anion contaminants.
申请公布号 WO2006064368(A2) 申请公布日期 2006.06.22
申请号 WO2005IB03943 申请日期 2005.12.13
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 ROMANO, ANDREW, R.;HOULIHAN, FRANCIS, M.
分类号 B01D15/36;B01J41/00;C07C7/12 主分类号 B01D15/36
代理机构 代理人
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