| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Wolframnitridschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60027935(D1) |
申请公布日期 |
2006.06.22 |
| 申请号 |
DE20006027935 |
申请日期 |
2000.01.18 |
| 申请人 |
NIHON SHINKU GIJUTSU K.K., CHIGASAKI |
发明人 |
HARADA, MASAMICHI |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/20;C23C16/34;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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