KENNZEICHNUNG UND KORREKTION VON ZYKLISCHEN FEHLERN BEI DER INTERFEROMETRIE ZUR DISTANZMESSUNG UND DISPERSIONSMESSUNG,申请号DE2000622868T-传众专利搜索

发明名称	KENNZEICHNUNG UND KORREKTION VON ZYKLISCHEN FEHLERN BEI DER INTERFEROMETRIE ZUR DISTANZMESSUNG UND DISPERSIONSMESSUNG
摘要
申请公布号	DE60022868(T2)	申请公布日期	2006.06.22
申请号	DE2000622868T	申请日期	2000.03.15
申请人	ZYGO CORP., MIDDLEFIELD	发明人	HILL, A.
分类号	G01B9/02;G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G01B9/02
代理机构		代理人
主权项
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