| 发明名称 |
Verfahren zum schichtweisen kristallinen Vakuumaufdampfen hochreinen sproeden Materials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1278800(B) |
申请公布日期 |
1968.09.26 |
| 申请号 |
DE1962S081124 |
申请日期 |
1962.08.27 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
NICKL DIPL.-CHEM. DR. JULIUS |
| 分类号 |
C23C14/24;C30B23/02;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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