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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PARTIKELWAHRNEHMUNG MITTELS EINER SENSORANORDNUNG MIT BEWEGLICHEM TEIL
摘要
申请公布号
DE60113526(T2)
申请公布日期
2006.06.22
申请号
DE20016013526T
申请日期
2001.04.18
申请人
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC., GLOUCESTER
发明人
FANG, ZIWEI;WALTHER, R.;FELCH, B.;SONICO, S.
分类号
H01J37/02;H01J37/04;H01J37/244;H01J37/317
主分类号
H01J37/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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