| 发明名称 |
VAKUUMBEHANDLUNGSVORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69927003(T2) |
申请公布日期 |
2006.06.22 |
| 申请号 |
DE19996027003T |
申请日期 |
1999.03.05 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
NAKATSUKA, SAKAE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23F4/00;C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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