发明名称 METHOD OF MAKING TEM SAMPLE USING FIB
摘要
申请公布号 KR100595136(B1) 申请公布日期 2006.06.22
申请号 KR20040117807 申请日期 2004.12.31
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOON, MYOUNGNO
分类号 H01L21/66;G01N1/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址