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发明名称 APPARAT FÜR DIE BEARBEITUNG VON HALBLEITERN
摘要
申请公布号 DE60022221(T2) 申请公布日期 2006.06.22
申请号 DE20006022221T 申请日期 2000.10.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MAEDA, YUJI;NAKANISHI, KOJI;TOKAI, NOBUO;KAWAI, ICHIRO
分类号 H01L21/205;C07D413/06;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52;C25D21/04;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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