发明名称 一种场发射显示器
摘要 本发明揭示一种场发射显示器,包括一阴极电极;复数用于发射电子之奈米碳管阵列,其与阴极电极电性相连;一阻隔壁,其位于阴极电极表面;一栅极电极,其位于阻隔壁表面;一定位框架,其将阻隔壁固接于基底;一萤光屏;及一支撑柱,其位于萤光屏与基底之间,用于支撑萤光屏。其中,上述阻隔壁包括一蔽荫遮罩(Shadow Mask)及位于该蔽荫遮罩表面之绝缘层,该蔽荫遮罩具有复数以预定图案排列之均匀微孔,该微孔与奈米碳管阵列相对应。该场发射显示器利用阴极射线管(CRT)中非常成熟之蔽荫遮罩制备工艺,通过在其表面沈积绝缘层形成高精度阻隔壁,可实现具有耗时少,无污染,高精度且适用于大面积阻隔壁制备之场发射显示器。
申请公布号 TWI257116 申请公布日期 2006.06.21
申请号 TW092107709 申请日期 2003.04.04
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 胡昭复;陈丕瑾;刘亮;范守善
分类号 H01J31/12 主分类号 H01J31/12
代理机构 代理人
主权项 1.一种场发射显示器,包括: 一阴极电极; 复数用于发射电子之场发射元件,其与阴极电极电 性相连; 一阻隔壁,该阻隔壁位于阴极电极表面; 一栅极电极,该栅极电极位于阻隔壁之表面;及 一萤光屏,该萤光屏包括一阳极电极与附着于阳极 电极之萤光层;其中 上述阻隔壁包括一蔽荫遮罩及位于该蔽荫遮罩表 面之绝缘层,该蔽荫遮罩具有复数以预定图案排列 之均匀微孔,该微孔与场发射元件相对应。 2.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器,其中 该场发射显示器进一步包括一基底,该阴极电极位 于该基底表面。 3.如申请专利范围第2项所述之场发射显示器,其中 该基底之表面平整度小于1微米。 4.如申请专利范围第2项所述之场发射显示器,其中 该基底为绝缘材料 5.如申请专利范围第4项所述之场发射显示器,其中 该绝缘材料包括玻璃、陶瓷、氧化硅或氧化铝。 6.如申请专利范围第2项所述之场发射显示器,其中 该场发射显示器进一步包括一框架,该框架将阻隔 壁固接于基底。 7.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器,其中 该场发射元件为奈米碳管阵列。 8.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器,其中 该场发射元件为金属尖端。 9.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器,其中 上述之蔽荫遮罩为金属材料。 10.如申请专利范围第9项所述之场发射显示器,其 中该金属材料包括殷瓦钢或低碳钢。 11.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器,其 中该绝缘材料包括氧化铝或氧化镁。 12.如申请专利范围第11项所述之场发射显示器,其 中该绝缘材料之厚度为10~-500微米。 13.如申请专利范围第2项所述之场发射显示器,其 进一步包括一萤光屏支撑柱,该支撑柱位于萤光屏 与基底之间。 14.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器,其 中萤光屏进一步包括一基板,阳极电极附着于该基 板。 图式简单说明: 第一图系本发明场发射显示器之结构示意图。 第二图系制备本发明场发射显示器之流程图。 第三图系本发明场发射显示器中沈积有阴极电极 及奈米碳管之基底示意图。 第四图系本发明场发射显示器阻隔壁之示意图。 第五图系在第三图所示之阻隔壁一表面沈积栅极 电极后固定于基底表面之示意图。
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