发明名称 含氟树脂组成物、制造含氟树脂组成物之方法、半导体制造装置及被覆电线
摘要 本发明系提供有关具有优良耐臭氧性及表面平滑性之半导体制造装置用零件,即,由具有优良成型加工性之四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物所形成的含氟树脂组成物。该含氟树脂组成物之特征为,由四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物及四氟乙烯/六氟丙烯共聚物所形成之含氟树脂组成物中,四氟乙烯/六氟丙烯共聚物对四氟乙烯/六氟丙烯共聚物及四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物之合计固体成分质量为0.5至60质量%,又,该含氟树脂组成物所形成之测定用管状成型物为,内面平均粗糙度〔Ra〕为0.035μm以下,最大粗糙度〔Rt〕低于0.3μm。
申请公布号 TWI256955 申请公布日期 2006.06.21
申请号 TW092135062 申请日期 2003.12.11
申请人 大金工业股份有限公司 发明人 三木规彦;今村均
分类号 C08F214/26 主分类号 C08F214/26
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种含氟树脂组成物,其特征为由四氟乙烯/氟烷 氧基三氟乙烯共聚物及四氟乙烯/六氟丙烯共聚物 所形成之含氟树脂组成物中,四氟乙烯/六氟丙烯 共聚物对四氟乙烯/六氟丙烯共聚物及四氟乙烯/ 氟烷氧基三氟乙烯共聚物之合计固体成分质量为0 .5至60质量%,又,含氟树脂组成物中,由-CF2-CH2OH、- CONH2、-COOH及-COF群中所选出至少1个之末端官能基 对每碳数106个为低于10个,该末端官能基系存在于 四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物之分子链末端 及/或四氟乙烯/六氟丙烯共聚物的分子链末端之 物,该碳数为四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物 之碳数及四氟乙烯/六氟丙烯共聚物之碳数的合计 数,又,含氟树脂组成物所形成之测定用管状成型 物的内面平均粗糙度[Ra]为0.035m以下,最大粗糙 度[Rt]低于0.3m。 2.如申请专利范围第1项之含氟树脂组成物,其中四 氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物为与四氟乙烯/ 六氟丙烯共聚物熔融混练之物。 3.如申请专利范围第1项之含氟树脂组成物,其系使 用含氟气体进行处理之物。 4.如申请专利范围第2项之含氟树脂组成物,其系使 用含氟气体进行处理之物。 5.如申请专利范围第3项之含氟树脂组成物,其中使 用含氟气体之处理步骤系由使用含氟气体之精制 处理所构成。 6.如申请专利范围第4项之含氟树脂组成物,其中使 用含氟气体之处理步骤系由使用含氟气体之精制 处理所构成。 7.如申请专利范围第1至6项中任一项之含氟树脂组 成物,其中分子量分布为1.0至2.2。 8.如申请专利范围第1至6项中任一项之含氟树脂组 成物,其中四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物之 熔融指数为9(g/10分钟)以下,四氟乙烯/六氟丙烯共 聚物之熔融指数为9(g/10分钟)以下。 9.如申请专利范围第1至6项中任一项之含氟树脂组 成物,其中四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物之 熔融指数为1.0至3.5(g/10分钟),四氟乙烯/六氟丙烯 共聚物之熔融指数为0.5至3(g/10分钟)。 10.一种含氟树脂组成物,其为由四氟乙烯/氟烷氧 基三氟乙烯共聚物及四氟乙烯/六氟丙烯共聚物与 四氟乙烯聚合物所形成之如申请专利范围第1至9 项中任一项之含氟树脂组成物,又,其中四氟乙烯 聚合物对含氟树脂组成物之固体成分质量为0.2至5 质量%。 11.一种制造含氟树脂组成物之方法,其为由具有依 序进行将四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物及四 氟乙烯/六氟丙烯共聚物所形成之混合组成物熔融 混练的熔融混练步骤,及使用含氟气体进行精制处 理之精制步骤的制造如申请专利范围第1至9项中 任一项之含氟树脂组成物的方法,进行熔融混练时 系将汽缸内混合组成物温度控制于350至395℃下,利 用挤押成型机进行至混合组成物无粘度变化为止, 又,所使用之含氟气体为含有5质量%以上之氟,且精 制处理系将熔融混练步骤后而得之挤出物曝露于 含氟气体中,以分解去除低分子量物者。 12.如申请专利范围第11项之制造含氟树脂组成物 之方法,其中四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物 及四氟乙烯/六氟丙烯共聚物为调整末端官能基数 之物,且调整后末端官能基之数为,对四氟乙烯/氟 烷氧基三氟乙烯共聚物之碳数与四氟乙烯/六氟丙 烯共聚物之碳数的合计每106个为4至100个。 13.一种氟树脂组成物成形物,其特征为由申请专利 范围第1至9项中任一项之含氟树脂组成物而得。 14.一种半导体制造装置,其为由申请专利范围第13 项之氟树脂组成物成型物所组成的半导体制造装 置,且使用60℃以上之含有臭氧10体积%以上之含臭 氧媒体。 15.一种半导体制造装置,其为由申请专利范围第13 项之成型物所组成的半导体制造装置,且使用15℃ 以上之含粒子淤浆,又该含粒子之淤浆为含有氧化 铝及/或二氧化矽所形成之粒子者。 16.一种圆筒状成型物用连接器,其特征为由申请专 利范围第1至9项中任一项之含氟树脂组成物而得 。 17.一种被覆电线,其为利用由申请专利范围第1至9 项中任一项之含氟树脂组成物而得之被覆物被覆 电线而得。 图式简单说明: 图1为,实施例1之淤浆送液试验后测定用管状成型 物内表面的电子显微镜像。 图2为,比较例1之淤浆送液试验后测定用管状成型 物内表面的电子显微镜像。 图3为,比较例5之臭氧曝露试验后产生裂痕之连接 器厚度方向剖面图。
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