| 主权项 |
1.一种模仁之制造方法,包括以下步骤: (1)测量模仁原料之表面面形,后将测得表面面形之 资料与用数学形式表达之精密光学表面形状进行 比较,得到表面误差矩阵,并将其输入计算机; (2)根据表面误差矩阵驱动控制电子束发生器发射 电子束对模仁原材料进行精加工。 2.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法,其 中所述模仁为相机镜头透镜之模仁。 3.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法,其 中所述模仁系先通过机械加工方法将模仁原材料 之待加工表面预加工成最接近之曲面或平面。 4.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法,其 中电子束加工模仁系在其空中进行。 5.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法,其 中所述电子束须经过复数聚焦加速装置电磁聚焦 取向,使得电子束直径更小以提高加工精度。 6.如申请专利范围第3项所述之模仁之制造方法,其 中所述模仁采用研磨抛光的机械加工方法进行预 加工。 7.如申请专利范围第4项所述之模仁之制造方法,其 中所述其空室中还可充入惰性气体,防止模仁原材 料在高温加工时被氧化。 8.如申请专利范围第7项所述之模仁之制造方法,其 中所述惰性气体为氩气。 9.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法,其 中所述电子束发生器包括电子枪、阳极和阴极,其 中阴极材料为氧化锆/钨。 10.如申请专利范围第2项所述之模仁之制造方法, 其中所述模仁材料为碳化钨。 11.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法, 其中模仁精加工后可于其表面电镀一层金刚石,以 增加模仁之寿命,且使模仁与所要加工之透镜更容 易分开,起到固体润滑剂作用。 12.如申请专利范围第11项所述之模仁之制造方法, 其中所述金刚石之厚度为10~30奈米。 13.如申请专利范围第4项所述之模仁之制造方法, 其中所述真空室之真空度低于510-3帕斯卡。 14.如申请专利范围第5项所述之模仁之制造方法, 其中所述聚焦加速装置之加速电压为5104伏特。 15.如申请专利范围第1项所述之模仁之制造方法, 其中所述电子束强度为110-12~510-8安培。 图式简单说明: 第一图系本发明一种模仁加工之示意图。 |
