| 发明名称 | 自动显示磨耗程度的研磨垫及制造方法 | ||
| 摘要 | 一种自动显示磨耗程度的研磨垫，包括一研磨基板，具有一研磨面、一基准面、至少一第一标记孔，设置于该研磨面下方一第一既定距离处、至少一第二标记孔，设置于该研磨面下方一第二既定距离处，以及至少一第三标记孔，设置于该研磨面下方一第三既定距离处，其中该第一、第二及第三标记孔，由该基准面往该研磨面方向延伸，并且该第三既定距离大于该第二既定距离，且该第二既定距离大于该第一既定距离。 | ||
| 申请公布号 | CN1260783C | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN02131996.0 | 申请日期 | 2002.09.04 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 陈志焜;龚耀雄 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01);B24B1/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/304(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英;潘培坤 |
| 主权项 | 1.一种可自动显示损耗程度的研磨垫的制造方法，包括：提供一研磨基板，具有一研磨面及一背面；以及在该研磨基板的背面上，形成具有一第一既定深度的至少一第一标记孔、具有一第二既定深度的至少一第二标记孔，以及具有一第三既定深度的至少一第三标记孔，其中该第一既定深度大于该第二既定深度，该第二既定深度大于该第三既定深度。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县 | ||