发明名称 |
检测新旧掩膜版差别的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种检测新旧掩膜版差别的方法。利用缺陷检测设备来区别新旧两块掩膜板的不同图形,通过定义硅片上芯片的布局,在曝光后直接比较的两块不同掩膜板的图形。本发明的检测方法直观、精确度高,且所需的时间短,可用于检测新旧掩膜版的差别。 |
申请公布号 |
CN1790655A |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
申请号 |
CN200410093012.X |
申请日期 |
2004.12.15 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
陈杰 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/00(2006.01);G03F1/00(2006.01);G03F7/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁纪铁 |
主权项 |
1、一种检测新旧掩膜版差别的方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,在预备的光片上曝光要进行比较的两块不同掩膜版的图形;第二步,编检查缺陷机台检查文件;第三步,定义一个曝光单元内所检查的图形,并对硅片图形的明暗度进行测光,使检查缺陷机台得到最佳的光强;第四步,找到并定义硅片扫描对准所需的两个有特征的图形;第五步,定义该文件的模式及参数,并测试硅片,根据硅片的测试结果,即缺陷的多少来调整机台的感度值,使之找到我们所要求的缺陷;第六步,给文件命名并保存。 |
地址 |
201206上海市浦东川桥路1188号 |