| 发明名称 | 一种在炉管作业中提高产能的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在炉管作业中提高产能的方法，采用α－8S型的炉管装置，在139个槽的小舟上不变更小舟的槽间距，减少片盒放置棚架上两端假片片盒的数量来增加产品片盒的数量至10个；使小舟上可处理的产品的数量增加至125枚，进行每炉5个批产品的生产。本发明在基本不增加费用和不变更产品工艺条件的基础上，提高原有的139槽装置的产能。 | ||
| 申请公布号 | CN1790609A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN200410093013.4 | 申请日期 | 2004.12.15 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 姚亮;倪立华;朱荣海;刘继广;谢煊;陈超英;沈馨如;董颖;卢键;侯翔宇 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁纪铁 |
| 主权项 | 1、一种在炉管作业中提高产能的方法，采用α-8S型的炉管装置，在139个槽的小舟上不变更小舟的槽间距，其特征在于：减少片盒放置棚架上两端假片片盒的数量来增加产品片盒的数量至10个；使小舟上可处理的产品的数量增加至125枚，进行每炉5个批产品的生产。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东川桥路1188号 | ||