| 发明名称 | 薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器 | ||
| 摘要 | 一种衬底(P)，在衬底表面形成薄膜图案，该衬底(P)具有能注入功能液(L)的液体注入部(A2)、功能液(L)能流动地连接配置的液体流动部(A1)。在液体注入部(A2)和液体流动部(A1)的线宽度上，液体注入部(A2)的宽度(d)以液体流动部(A1)的线宽度(b)的2倍以下形成。提供能以良好的精度稳定形成细线状的微细薄膜图案的薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器。 | ||
| 申请公布号 | CN1790664A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN200510118663.4 | 申请日期 | 2005.11.01 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 酒井真理;平井利充 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01);H01L23/522(2006.01) | 主分类号 | H01L21/768(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种薄膜图案衬底，是在衬底上凹陷设置的区域形成薄膜图案的薄膜图案衬底，其特征在于：所述凹陷设置的区域，具有宽度相对宽地形成的宽阔部、和连接在所述宽阔部上的线状部；所述宽阔部的平均直径设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||