| 发明名称 | 组织均匀的高熔点金属板及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种高熔点金属板，它包括厚度、中心和边缘，其中所述高熔点金属板具有{100}和{111}晶面取向的晶粒以固定比例混合。本发明也涉及该金属板的制造方法，以及该金属板作为溅射靶的应用。该均匀组织是(100)和(111)取向的两种晶粒基本固定比例的混合，为控制薄膜厚度提供了一个更可预知的溅射速度，从而改善溅射效果。 | ||
| 申请公布号 | CN1789476A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN200510128891.X | 申请日期 | 2002.02.20 |
| 申请人 | H.C.施塔克公司 | 发明人 | P·R·杰普森;H·乌伦胡特;P·库马尔 |
| 分类号 | C22F1/18(2006.01) | 主分类号 | C22F1/18(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈文青 |
| 主权项 | 1.一种高熔点金属板，它包括厚度、中心和边缘，其中所述高熔点金属板具有{100}和{111}晶面取向的晶粒以固定比例混合。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||