制造含氟聚合物制品的金属污染试验

摘要

本发明涉及将含氟聚合物熔融制造成可用于半导体制造和液体输送的制品，而不会被金属熔融制造装置带来的金属污染物污染半导体或液体。为了实现该目的，制品要具有以RMS粗糙度表征的不大于0.20μm的光滑表面，以便不存留金属污染物。

主权项

1、由含氟聚合物熔融制造的制品产生的金属污染的测定方法，所述方法包括(a)清洗所述制品，以除去所述制品表面存在的所述金属，(b)将所得清洗后的制品置于浸提溶液中，和(c)测定浸提溶液中所述金属的浓度，所述制品表面具有用RMS粗糙度表征不大于约0.2μm的光洁度，因此很容易通过所述清洗去除所述制品表面的金属污染，从而使步骤(c)中测定的所述金属的浓度不会受到所述制品表面存在的所述金属的影响。