| 发明名称 | 基板承载台 | ||
| 摘要 | 提供一种支持将多个基板截取为多个的大型基板时、使销与裁断预定线重叠的基板承载台。在支持板(2)上安装多个固定销(3)。在该固定销(3)的俯视位置，配置在与承载在该基板承载台上的大型基板W的有效区域外的外周缘L1相重叠的位置上，另外还配置在大型基板截取为2个时的裁断预定线L2相重叠的位置上。另一方面，在上述支持板(2)中形成的通孔(4)中插入可动销(5)，各个可动销(5)配置在与大型基板进行进一步截取的裁断预定线L3、L4相重叠的位置上。然后将横方向的可动销(5)共同地安装在支持板(2)下方的连结板(6)上，通过驱动压力缸组件(8)使横方向的可动销(5)同时升降。 | ||
| 申请公布号 | CN1790660A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN200510124975.6 | 申请日期 | 2005.10.04 |
| 申请人 | 东京応化工业株式会社;龙云株式会社 | 发明人 | 楫间淳生;高濑真治;山口和伸;山本夕记 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01);G02F1/13(2006.01);G03F7/26(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 胡强 |
| 主权项 | 1、一种基板承载台，其特征在于：对在后工序中裁断为多个的大尺寸玻璃基板等的大型基板进行承载，其中，该基板承载台包括：在承载台上面设置的多个固定销，和插入形成在台上的厚度方向的通孔中的可升降移动的多个可动销，上述固定销配置在俯视时与承载的大型基板的有效区域之外的外周缘相重叠的位置上，上述可动销配置在俯视时与大型基板的裁断预定线相重叠的位置上。 | ||
| 地址 | 日本川崎市 | ||