使用有机无机混合材料和纳米压印技术的微细结构体的制造方法以及微细结构体

摘要

本发明的目的在于提供一种微细结构体的制造方法，其并非使用蚀刻处理而是使用纳米压印技术，经济性良好地制造含有可使所入射的光线有效通过的微细凹凸部的微细结构体。本发明使用纳米压印技术，并通过以下步骤制造微细结构体：在透明基板上对通过添加铝、锗或钛等的金属氧化物及/或烷醇盐而控制折射率的有机无机混合材料进行涂布的步骤；对涂布有上述有机无机混合材料的基板进行预烘热的步骤；在减压状态下对经过涂布的上述有机无机混合材料压接具有微细凹凸部的模具并加热的步骤及将上述有机无机混合材料从模具脱模的步骤。

主权项

1.一种透明基板上具有微细凹凸部的结构体(以下称为[微细结构体])的制造方法，其特征为：其使用纳米压印技术，并且具有在透明基板上对可通过添加铝、锗或钛等的金属氧化物及/或烷醇盐而控制折射率的有机无机混合材料进行涂布的步骤；对涂布有上述有机无机混合材料的基板进行预烘热的步骤；在减压状态下对经过涂布的上述有机无机混合材料压接具有微细凹凸部的模具并加热的步骤；及将上述有机无机混合材料从模具进行脱模的步骤。